溯游而上，开拓进取-御微半导体Halo-100产品顺利进军新领域
2025年7月，正值御微半导体Halo-100产品上市一周年之际，公司已累计发运多家掩模制造厂（MaskShop）、并于今日正式向掩模基板厂（Blank Fab）发运专用版本。该版本的发运，标志着Halo-100成功从掩模制造领域延伸至上游基板生产环节，推动御微“掩模全生命周期质量控制”战略实现关键跨越。凭借御微公司自主研发的核心技术， Halo-100现已成为掩模产业链中制造端与基板端质量管控的标尺。
御微半导体Halo-100掩模基板缺陷检测产品
领航掩模检测新高度，Halo-100匠心铸就
Halo-100设备基于御微半导体多年深耕掩模检测领域的技术积淀，通过高精度缺陷检测与高精密光学系统，为掩模检测行业提供多重价值：
- 掩模制造端：在曝光前对掩模基板进行入场检测，拦截大颗粒污染物，避免曝光机腔体污染及后续工序良率损失；同时作为设备内部洁净度监测的“标尺”，定期检测重点生产设备内部腔体的洁净状态。
- 基板生产端：覆盖玻璃基板来料检验、多层镀膜过程监控及成品出货检测全链条，确保每个制程节点的洁净度达标。
- 零污染生产：集成自动开盒/倒板模块，最大限度减少人工干预，实现全程封闭式管控。
御微聚力全赋能，共筑产链新价值
Halo-100的推出，与御微半导体已有的i6R、Raptor等产品形成协同效应，构建覆盖掩模制造、使用、维护全生命周期的零缺陷质量管控闭环。该体系不仅帮助客户降低潜在污染的损失，更推动半导体制造链条的精细化升级。
御微将持续加大研发投入、深入剖析客户痛点和需求、不断开发出满足客户要求的新产品，夯实掩模版全生命周期质量管控产品线，填补国内相关半导体设备领域的空白，为广大客户创造更高更大的价值。
御微使命，奋发前行
上海御微半导体技术有限公司聚焦半导体检测与量测设备研发，致力于为晶圆制造、掩模版制造及封装领域提供全制程领域量检测解决方案。公司已获多项国家级专精特新企业认证，产品覆盖国内主流半导体厂商，设备累计出货量超百台。
